今天主要講下，關(guān)于表面形貌的測量：

通?？煞纸佑|式與非接觸式兩種，在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中，這兩個(gè)方法具有互補(bǔ)性，并且各有不同，因此在實(shí)際應(yīng)用以及選擇機(jī)器的時(shí)候，一定要根據(jù)具體情況而定，建議先咨詢相關(guān)的技術(shù)工程師。

本期主要說下接觸式表面形貌測量儀器：臺階儀

臺階儀根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

基本工作原理如下：

當(dāng)臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時(shí)，被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進(jìn)行滑行的同時(shí)也做一些上下運(yùn)動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運(yùn)動情況所體現(xiàn)出來。

以優(yōu)尼康主推的KLA臺階儀D-Series & P-series為例，簡單看下：

觸針傳感器技術(shù)：高度分辨率低于0.1納米

光學(xué)杠桿傳感器: D-Series

電容傳感器 (LVDC): P-Series

所有KLA系列臺階儀探針均由金剛石制成，具有的可靠性

應(yīng)用：

醫(yī)用支架臺階高度；藥庫深度
ITO薄膜臺階高度；20到200 nm臺階
太陽能電池
蝕刻工藝
LED氮化鎵外延缺陷檢測
太陽能板形貌
硅片減薄形貌
圓角測試