Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀

Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀產(chǎn)品介紹：

Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品一樣。主要測(cè)繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)，以及可以升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。

Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：

• 自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果；

• 可測(cè)樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量；

• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件；

• 凹槽自動(dòng)檢測(cè)

• 自動(dòng)基準(zhǔn)確定

• 全封閉測(cè)量平臺(tái)

Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀產(chǎn)品測(cè)量原理：

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀產(chǎn)品應(yīng)用：

Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀產(chǎn)品參數(shù)：

Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀測(cè)量圖：